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          氯化氫氣體

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          電子級氯化氫的主要應用范圍
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          電子級氯化氫的主要應用范圍

          發布時間:2021-07-21 16:44:02 打印
              隨著微電子工業向大尺寸、高集成化、高均勻性、高完整性的方向迅速發展,廣泛用于單晶硅氣相研磨和外延機械腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除純度為99.999%以上外,氯化氫的THC、H2O、金屬離子等有機雜質的含量越低越好。
              電子級氯化氫主要用于外延生長前硅和砷化鎵的高溫氣相刻蝕,去除鈉離子。另外,高純度氯化氫還用于金屬表面的化學處理,激光用于混合氣體、薄膜生產及碳纖維表面處理。過去我國大多從美國、日本等國進口電子級氯化氫,但近年來我國電子工業所需化學氣體的研究開發在技術上取得了許多突破和發展。
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